高剛性機構 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ピエゾZステージ｜高速Z動作でも位置再現性を維持する高剛性機構

0.3nm分解能と直接位置計測により、共焦点顕微鏡や表面計測のZズレを低減

P-733.Zは、ナノメートルレベルの分解能と高速応答性能を兼ね備えた高剛性ピエゾZナノポジショニングステージです。100µmのトラベルレンジと50×50mmのクリアアパーチャを備え、顕微鏡やマスク／ウェハの位置決め用途などに適しています。 非接触の静電容量センサーにより、サブナノメートル分解能の計測が行えます。また、最大0.3nmの分解能と高い繰り返し精度を実現。フレクシャガイド構造により摩耗やバックラッシュがなく、長期にわたり安定した高精度位置決めが可能です。 PI独自のPICMA(R)アクチュエータを採用しており、従来のポリマー絶縁アクチュエータと比較して最大10倍の長寿命を実現します。