高周波電源『T857シリーズ』
高信頼設計の高性能高周波電源
『T857シリーズ』は、オール・ソリッドステート・タイプの 高性能高周波電源です。 プラズマ・エッチング、RIE、プラズマCVD、RFスパッタリング等の 各種プラズマ処理に適します。 また、当シリーズの出力インピーダンスは公称50Ωですが、各種保護回路 により広範囲な負荷及びショート，オープン等の過酷な運用にも 対応できます。 【特長】 ■強力なファンによる強制空冷 ■高許容反射電力 ■リニアライズされたパワーメーターとモニタ出力 ■リニアな出力制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：クリエート・デザイン株式会社 クリエート・デザイン株式会社
- 価格：応相談
