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独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できる高圧ポンプユニット ＣＳＰ等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。
電動式のプランジャポンプを用いたポンプユニットです。 吐出圧力、流量についてはお客様のご要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。 【特長】 ■ポンプ1台で関連する複数の用途に対応 ■スケルトン筐体でお客様の装置に組込容易 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに好適！低圧から高圧まで調整可能
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490） ■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵 ■オプションで純水用電磁弁、エア駆動用吐出弁の内蔵、NMP対応シール材を選択可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。
【特長】 ■インバータ内蔵により流量特性を可変可能 ■外部信号により運転、停止が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
