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独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できる高圧ポンプユニット ＣＳＰ等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。
電動式のプランジャポンプを用いたポンプユニットです。 吐出圧力、流量についてはお客様のご要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。 【特長】 ■ポンプ1台で関連する複数の用途に対応 ■スケルトン筐体でお客様の装置に組込容易 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに好適！低圧から高圧まで調整可能
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490） ■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵 ■オプションで純水用電磁弁、エア駆動用吐出弁の内蔵、NMP対応シール材を選択可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。
【特長】 ■インバータ内蔵により流量特性を可変可能 ■外部信号により運転、停止が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
既存の設備に接続して最大700MPa（101,000 psi）の動作圧力を発生！6.5～70リットルのタンク容量から選択可能！
当社では、さまざまな種類のテスト、ボルトの締め付け、クランピング、 または特定の圧力を必要とする他の用途に使用できる「液圧ユニット」を 取り扱っております。 圧力は、エア圧で作動するMAXIMATORポンプによって生成。ポンプは、 既存の産業用圧縮エアダクトシステムに接続されます。圧力を発生 させるために、電気接続は必要ありません。 また、MAXIMATORパワーパックには、すべてのMAXIMATORポンプを 搭載できます。制限は、構造寸法と、それぞれの機能に必要なポンプの 流量によりのみ生じます。 【特長】 ■ポンプはコンパクトで省スペースの方法でオイルタンクに取り付けられる ■水または腐食性媒体での操作の場合、ポンプはタンクに取り付けられる ■規格に応じて、6.5リットルから70リットルまでのタンク容量から選択可能 ■必要に応じて、より大型のタンクを利用可能 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
