エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに好適！低圧から高圧まで調整可能
『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490） ■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵 ■オプションで純水用電磁弁、エア駆動用吐出弁の内蔵、NMP対応シール材を選択可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【仕様】 〇サイズ ・W194×H190×D490 ○吐出圧力 ・KPW20 : 0.98~9.8MPa ・KPW30 : 1.47~14.7MPa ・KPW37.5 : 1.76~17.6MPa ○吐出流量 ・KPW20 : 1.13L ・KPW30 : 0.71L ・KPW37.5 : 0.58L ○駆動エア圧：0.05~0.5MPa ○エア消費量：約70L (ポンプストローク数 60SPM時) ○接液シール ・純水・IPA ：FKM ・NMP： カルレッツ
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体洗浄装置（ジェット洗浄） ■スクラバー装置 ■リフトオフ装置 【実績例】 試作実験用装置での使用事例
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| KPW-20 | |
| KPW-30 | |
| KPW-37.5 |
カタログ（1）
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企業情報
「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。
