高圧洗浄ユニット(ウォータージェット)
コンパクト設計、低騒音、圧力調整も簡単です。異物や汚れの除去は、高圧洗浄で解決出来ます。
高圧ポンプと高圧洗浄専用ノズルを使用し、高打力微粒子を噴射して洗浄対象物(基板)表面のパーティクル及び有機汚染を効果的に除去します。 - 以前の圧縮空気式ポンプよりユニットサイズがコンパクト - 圧縮空気式ポンプ特有の騒音を解決 - 圧力調整が容易(インバーターによるHz調節で圧力調節が容易) - 工場ユーティリティからの接続が簡単(DIW) ‐ お客様のニーズによる製作可能 - Interlock機能 (ウォータージェット流量/圧力が設定値を超えた場合、洗浄装置にアラームを出す。)
- 企業：アジアファインテック株式会社 韓国本社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
