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ナノオーダーの表面解析検査システムを量産へ！白色干渉計レベルの分解能を実現します
『QPM光学検査装置』は、半導体ウェハやレーザーパターニングプロセス等の 高精度な品質検査に対応するシステムです。 ワークを手動で供給する半自動タイプや、ラインに対応する量産タイプ など、ご要望に合わせたシステム構想が可能。 現在、システム化に向けて開発を加速中です。テスト分析も随時実施して おりますので、まずはお気軽にご相談ください。 【システム構想(半自動タイプ)】 ■ワーク手動供給 ■Φ300mmウェハOK ■小片ウェハは、治具実装にて対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
透明膜の線幅測定や外観検査に最適。測定範囲が広く、高速に検査。
高速検査「ITO膜外観検査装置」はフィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や外観検査を行います。特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、飛び散りを明瞭に撮像し外観測定いたします。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
120チャンネルのオープン・ショートを100msec/ch以下で高速検査！ 静電容量方式センサーのオープン・ショートチェッカー！
『OSC-301』は、制御用ICを実装する前に、静電容量式タッチパネルの端子間の断線やショートを高速で検出するための検査装置です。 端子に微小な電流を流して、内蔵された抵抗・容量測定回路で測定し、良否判定をおこないます。 外部制御用のLAN, USBのインターフェース、自動/手動の操作切替機能を搭載しており、 研究開発から生産ラインの自動検査まで幅広い用途にお使いいただくことができます。 【特長】 ■自動/手動の検査モード切替 ■抵抗・容量測定回路を内蔵 ■大型のパネルにも対応 ■最大10機種の検査条件を保存 ■LAN, USB経由での外部制御 【応用例】 ■半導体IC内部のオープン・ショートチェック ■FPD（有機ELや液晶ディスプレイ）のコンタクトチェック ※詳しくは、お気軽に下記までお問い合わせください。 Tel. 0942-41-2101 HP: https://www.mecc-jp.com/ee/contact
