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超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案
超純水（UPW）は、半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され、最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが、発電効率を最大限に発揮することにつながります。 当社では、超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した、ダイアフラムバルブをご用意しております。
化学薬品のハンドリングに最適なバルブをご提案
ハイテク分野の多くでは、プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。 GEMÜ製品は生産設備の中で、洗浄、コーティング、エッチング、充填プロセスの流体制御を担っています。 化学薬品の供給分野におけるGEMÜ社の強みは、あらゆるアプリケーションに対応する豊富なラインナップと、高耐久で流体の純度を低下させないことです。
ケミカルリキッドのハンドリングに最適なバルブをご提案
ウェットプロセスとは生産システムの中で液体、特にケミカルリキッドを施用する工程を指し、半導体製造のコアとなる工程です。 GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており、腐食性ケミカルに影響を受けない高い耐薬品性を持ちます。 また、省スペース、フレキシブルでコンパクトなデザイン、そして圧力損失を抑えた高い流量能力といった付加価値も提供いたします。
様々な純度の水に対応可能なバルブをご提案
ハイテク産業において製品の最終的な品質は、超純水ないし純水と呼ばれる水の清純度によって決まります。 GEMÜのハイピュリティーダイアフラムバルブは超純水の処理、輸送供給とプロセスラインでの使用を前提に開発されました。 またハイテク産業向けに限らず、GEMÜは水処理に関わる設備向けに幅広く製品をラインナップしております。
一般工業生産規模の化学薬品供給輸送までできる製品群
多量のケミカル流体を使用する一般工業分野でも、GEMÜの各種フッ素樹脂製コンポーネントはご使用頂けます。 バルブは最大100A(4')のサイズまでラインナップしております。
耐薬品性とコストパフォーマンスに優れたPFA製品群
半導体工業において超高純度溶剤が使用されるラインでは、耐薬品性と価格の両面から高度な要求がなされます。 GEMÜは高い流量能力と優れた経済性を併せ持つ、PFA製品群を広範囲にわたって提供しています。
脱イオン水の処理に適した製品群
このアプリケーションでは、GEMÜのPVDFおよびPP製バルブが使われます。 高品質な材料とメタルフリー構造は脱イオン水のハンドリングに適しています。
GEMÜ製（GEMU）手動ステンレスダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバルブ）
【特徴】 ●ダイアフラムの開発と製造のエキスパート ⇒粒子を含む流体でも、高いシール性を実現 ●耐薬品性のプラスチック製ハンド ⇒製薬，食品，バイオテクノロジー関係の無菌プロセスに対応 （CIP/SIP可能、オートクレーブ対応） ●半導体，マイクロエレクトロニクス，ファインケミカル分野でも超高純度流体のハンドリング対応 ●多彩なバルブボディ・ダイアフラム ⇒各種材質・仕様に変更可能 ●GEMÜ独自のガスケットシステム ⇒流路における液溜まりを最大限削減し、腐食の発生を排除。 ●狭い場所にも設置可能なコンパクト設計 ●シールアジャスターにより最小流量を無段階で設定
【不活性/腐食性流体向け・オートクレーブ対応・粒子を含む流体◎】手動ダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバルブ）
GEMÜ製（GEMU）手動ステンレスダイアフラムバルブ 「653 BioStar」は耐熱性と化学耐性のある”プラスチック製”のハンドホイール搭載！ 「654 BioStar」は”ステンレス製”ハンドホイール搭載！ ●不活性・腐食性の液体や気体に最適 ●耐薬品性のプラスチック製ハンドル ⇒ CIP/SIP可能、オートクレーブ対応 ●粒子を含む流体の影響を受けない ●多彩なオプション（近接スイッチ取付、ハンドルロック、ストロークリミッター等） 詳細は資料からご確認ください。
シングルユース新時代の幕開け。ダイアフラムバルブの性能を、そのままシングルユース！制御性と安全性の向上を実現。
全世界でニーズが爆増するシングルユース設備において、 流体制御クオリティを格段に上昇させるのが「シングルユースダイアフラムバルブ」 従来のピンチバルブ（チューブを潰す）では出来なかった流量制御を可能に！ 【特長】 ・流体制御性 ・デッドレグ削減 ・製品安全性向上 ・実績のあるアクチュエーター搭載 ・エア式、電動式など様々な作動に対応 詳細は資料をご覧頂くか、お問い合わせください。
バルブのお悩み解決します！
Q：手動ハンドルを所定の位置に設定後、意図せず動いてしまい、開度が変わってしまうことがある。 そんな手動ハンドルを動かないようにする方法は？ A：GEMU手動ダイアフラムバルブ653・654型には、ハンドルロック付きの仕様があり、 所定の位置で固定し、必要な時だけ開度を調整できるものがあります。 ※機械式ではなく、ソレノイドバルブを使用してロックする電気式の仕様もあり、 詳しくは取扱説明書をご覧ください。
どれくらいハンドルを絞ったら閉まるの？を解決!!
どれくらいハンドルを絞ったら閉まるか不安になりついハンドルを締めすぎてしまいませんか? ハンドルの締めすぎは流体を止めるダイアフラムの破損につながってしまいます。 この製品には"シールアジャスター"と呼ばれるバルブの全閉位置を調節できるシステムが標準装備されています!! このシステムを使うことで・・・ 1ハンドルの回しすぎによるダイアフラムの故障の防止 2流量の調節 を可能にします。 女性の方と筋肉自慢の男性の力の差は歴然でそれぞれハンドルを回す力が変わってしまいます。 ですが全閉位置を設定することで、どんな力でも同じ閉位置でバルブを閉めることができちゃいます! またハンドルを回すだけで一定に流量を調節したいという願いもかなえることができます。 シールアジャスターの設定もとても簡単です!
アクチュエータの材質にPPを採用！エアオペレートバルブのSDシリーズをご紹介
『SDシリーズ』は、接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、 耐薬品性・耐久性に優れているダイアフラムバルブです。 当社独自のシンプルな流路構造を採用し、アクチュエータ部の材質は、 PPを使用。 バルブ動作状態が確認できるインジケータを標準採用しました。 （流量調整付き仕様は除く） 【特長】 ■エアオペレートバルブ ■インジケータを標準装備 ■アクチュエータの材質はPPを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体・薬品関係などに！流量調整機構に差動ネジを採用したダイアフラムバルブ
『PSDXシリーズ』は、流量調整機構に差動ネジを採用し、 分解能を向上したダイアフラムバルブです。 流量変化量を緩やかにし、流量調整が容易になりました。 また、接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、 アクチュエーター部の材質はPVDFとなっています。 【特長】 ■エアオペレートバルブ ■流量調整機構に差動ネジを採用 ■分解能を向上したダイアフラムバルブ ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■アクチュエーター部の材質はPVDF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクチュエータの材質にPPを採用！操作性に優れ、省スペース取り付けが可能
『SSVシリーズ』は、シャット機能とサックバック機能を一体化した サックバックバルブです。 接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、耐薬品性・耐久性に 優れています。また、操作性に優れ、省スペース取り付けが可能。 オプションでサックバック量調整付もご提案できます。 【特長】 ■シャット機能とサックバック機能を一体化 ■アクチュエータの材質にPPを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■操作性に優れている ■省スペース取り付けが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクチュエータの材質にPVDFを採用！シャット機能とサックバック機能を一体化しました
『PSSシリーズ』は、操作性に優れ、省スペース取り付けが可能な ダイアフラムバルブです。 シャット機能とサックバック機能を一体化。 オプションでサックバック量調整付もご提案できます。 また、アクチュエータ部の材質は、PVDFを採用したガス透過対策品で、 接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用しました。 【特長】 ■シャット機能とサックバック機能を一体化 ■アクチュエータの材質にPVDFを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■操作ポートの上出し仕様もラインアップ ■操作ポートは、ワンタッチ継手付きのため、チューブ接続が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流体によって駆動部分が腐食されない！テフロンシールバルブの技術情報を紹介
「PTFE（テフロン）シールバルブ」の利点は、駆動部分と、流体が流れる 弁体部分とが分断されているので、流体によって駆動部分が腐食されないことです。 ダイアフラムと弁シール部にPTFEを使用していることから、高い耐食性をもち、 熱にも強く汚れがつきにくいため、洗浄しやすいという利点もあります。 また、注意点としては、ゴミ、ホコリなどに非常に弱いため、使用流体には フィルターなどを取り付けて異物の混入を防ぐ必要があります。 当社では、パーフロロエラストマーいう耐薬品性に優れた特殊な弾性体を シール部に装着し、傷の発生を極力抑えるオプション、「ソフトシール」を 用意しております。 【PTFEシールバルブの利点】 ■高い耐食性 ■熱にも強く汚れがつきにくい ■洗浄しやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
