超純水（UPW）の供給用バルブと流量計をご提案
超純水（UPW）は、半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程で多く使用されます。 ウェハー表面に付着した研磨剤は洗浄工程で除去され、最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが、発電効率を最大限に発揮することにつながります。 当社では、超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した、ダイアフラムバルブをご用意しております。
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用途／実績例
【用途】 ■UPWの供給 【実績例】 ■半導体や太陽電池用ウェハーの製造工程 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
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PurePlusシリーズ ハイピュリティ・ダイアフラムバルブ
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ハイピュリティ・フローメーター PVDF製の面積式流量計
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企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。
