ドライ真空ポンプ Rocker 300C
減圧ろ過、減圧乾燥に適した小型真空ポンプです。
ドライ真空ポンプRocker 300型の耐溶媒仕様です。 ポンプヘッド内およびダイヤフラムはPTFEコートされており、強酸、強アルカリを除く腐食性ガスに耐性があります。蒸留や濃縮、溶媒を使っての減圧ろ過など、幅広い用途にご使用いただけます。真空レギュレーターとトラップびんが標準で付属しています。
- 企業：柴田科学株式会社
- 価格：1万円 ~ 10万円
ドライ真空ポンプ(真空) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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ドライ真空ポンプの製品一覧
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ベッカー（Becker） ドライ真空ポンプ 総合カタログ
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
小型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・環境対応・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により2～5dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により20％アップ(従来比)。 ■RoHS指令標準対応。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ Rocker 300型
減圧濾過・減圧乾燥に最適な、オイルレスの小型真空ポンプです。
減圧濾過・減圧乾燥に最適な小型真空ポンプです。オイルレスなので、面倒なオイルのメンテナンスが必要ありません。安価ながら、サーマルプロテクター搭載の安全設計。移動に便利な持ち手もついていますので、ちょっと減圧したいときにその場へ持ち運び、ご使用いただけます。 ●ピストン駆動のドライポンプで、潤滑油や定期的なオイル交換等のメンテナンスが不要です。 ●吸引口には粒子や水分をトラップするためのフィルターカートリッジが装備されています。 ●真空を調整する真空レギュレーター付き。 ●過熱時にポンプを自動的に遮断し、温度が冷えると作動を再開する熱保護装置が内蔵されています。 ※本製品は耐溶剤仕様ではございませんのでご注意ください。
- 企業：柴田科学株式会社
- 価格：応相談
全体の運用コストを最大50%削減するドライ真空ポンプ
『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポンプ MINK MVシリーズ
MINK MV シリーズは、世界の製造現場で実績を積む、高効率なドライ真空ポンプです。 動作原理は非接触式のため摩耗がありません。従って効率が高く、消費電力が抑えられています。また、プロセスガスの圧縮に潤滑油や封液などが不要なことからもコストが抑えられます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
ロータリーベーン式オイルフリー真空ポンプ『VTLFシリーズ』
ロータリーベーン式オイルフリー真空ポンプ『VTLFシリーズ』
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
スクロール式ドライポンプ HiScroll 46
コンパクトでクリーンなドライポンプ。ラボに好適。
【高性能】 同クラスで最速の排気時間を実現し、エネルギー効率に優れた強力な内部永久磁石（IPM）式同期モーターを搭載。従来の駆動方式と比べて発熱が少ないのが特長です。 【静音設計】 単相モデルでの音圧レベルは47dB(A)未満です。 【コンパクト】 同クラスで最小・最軽量の真空ポンプ。ラボでの使用に理想的です。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」
リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中！
アネスト岩田のドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」にISP-250Eが新しくラインアップに加わります。従来モデルに対してリーク性能が2ケタ向上！1年目または8000時間のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみとなり、メンテナンスコストを大幅に削減しました。 お客様に進化を実感していただけることを目指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆ISP-250Cをご使用のお客様は本体交換によりISP-250Eにアップグレードが可能 ※総合カタログも進呈しております。詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
- 企業：アネスト岩田株式会社
- 価格：応相談
半導体・FPD・太陽光発電向ドライ式真空ポンプ
半導体およびFPD/太陽光発電アプリケーションに最適なドライ式真空ポンプ！
弊社では各種方式の真空ポンプを自前で取り揃えておりますので、最適なソリューションをご提案致します。 ・スクリュー式 ・クロー式 ・ルーツ式 ・コンビネーション方式 世界各国のエレクトロニクス・半導体業界への納品使用実績も多数ございます。
油や水を使わない環境対応型！アンレット空冷式ドライ真空ポンプ
エンドレス方式で省エネ・低騒音！軸封はドライシール方式
当社で取り扱う、株式会社アンレットの「空冷式ドライ真空ポンプ」について ご紹介いたします。 内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が 得られます。また、吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び 作業者の健康を守ります。 大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。 【特長】 ■エンドレスケーシングで高効率・低騒音 ■分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易 ■ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音・低振動 ■摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単 ■凝縮性気体のドレン回収も可能 ■構造が簡単で耐久力が抜群 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、代理店の株式会社京二にお問合せ下さい
ドライポンプ 高真空KHH251
高真空1.3kPa[abs]の連続運転をドライで実現
【仕様】 ■到達圧力 1.3kPa[abs]以下 ■流量 179L/min(60Hz) 【特長】 ■到達圧力1.3kPa[abs]以下の状態で連続使用ができ、高真空を必要とする各種業界に最適です。 ■モータフランジ直結のコンパクトタイプです。 ■運転音が小さく長寿命です。
- 企業：オリオン機械株式会社
- 価格：応相談
空冷式ドライ真空ポンプ FR060D
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
ケミカルプロセス用 縦型ドライ真空ポンプ『TRVシリーズ』
凝縮液に対して極めて強靭！ケミカルプロセス用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプECO-SHOCK
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
『フッ素樹脂ライニング施工ルーツ式ドライ真空ポンプ』貸出機あり
薬品・食品開発に！腐食知らず！フッ素樹脂ライニングを施したドライ真空ポンプ！
『フッ素樹脂ライニング施工ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、 真空ポンプ内に厚み150μm以上のフッ素樹脂ライニングを施工。 薬品や食品開発時に使われるハロゲン系ガスや 強酸性流体による腐食を抑制します。 貸出機をご用意していますので、ご希望の方はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■セラミック製液封ポンプより低価格 ■封液不要、なので性能が安定・ランニングコスト削減 ■ポンプの起動が早い ■医薬・試薬・農薬・化学・高機能材・非鉄金属・新素材などに ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
コンパクトドライ真空ポンプ DSP250/DSP500
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
高性能コンパクトドライ真空ポンプ『nXRi』
オイルフリーおよびメンテナンスフリーの柔軟な設計！省エネ運用でコスト削減！
『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を 実現するドライ真空ポンプです。 低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間と メンテナンスコストの削減が保証されます。 また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、 電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空ソリューション が実現します。 【特長】 ■コンパクトな設置面積でスペースを最適化 ■ハイパフォーマンスなポンプが必要なときに好適 ■省エネ運用でコスト削減 ■完全オイルフリーかつダストフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エドワーズ株式会社
- 価格：応相談
真空機器 ルーツ式ドライ真空ポンプ VPシリーズ
腐食性ガスの吸引に最適！
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライ真空ポンプ
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
【デモ機貸出可能】空冷式ドライ真空ポンプNeoDry-Eシリーズ
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ！
定期メンテナンスは6年に一度のメンテナンスサイクルを実現 トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○ポンピング部に接触部が無いため 長期の使用による性能劣化がない 〇ロータリーポンプのような 油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し ○空冷方式を採用 冷却水が不要なため、設置場所を選ばない ○ガスバラスト機構の採用により水蒸気排気が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
押出成形機用 縦型ドライ真空ポンプ『TRVシリーズ』
押出成形機のベントガス用として実績多数あり！押出成形機用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社宇野澤組鐵工所
- 価格：応相談
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズ
腐食性ガスに最適！
ドライ真空ポンプ全般で難しいとされている熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用したドライルーツ式真空ポンプで多くの納入実績を積んでいます。また、鋳造可能な耐食合金（Ni - Cr - Mo合金等）の製作も可能です。腐食でお困りのユーザー様は是非、ご検討下さい。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『SDEシリーズ』
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDEシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 独自のスクリュー形状で省エネを実現(X) 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD
ドライ真空ポンプ『FTPシリーズ』
高効率モータ搭載で省エネと低騒音を実現！プレミアムパッケージ真空ポンプ
アンレットの『FTPシリーズ』は、高効率モータ搭載により、 次世代の効率を実現した、ドライ真空ポンプです。 従来機よりモータ容量をワンランクずつダウン。 必要な真空度に合わせて回転速度を調整するほか、 IE3モータと合わせ、大幅な省エネを実現します。 また、目標圧力値に対し、現在圧力値から適切な運転を検出。 運転の必要がない号機は停止することで、さらなる省エネに貢献します。 【特長】 ■省エネ・低騒音を実現 ■簡単タッチパネル操作で電力コストを最適化 ■複数台使用する場合は台数制御で省エネ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社アンレット
- 価格：応相談
スクロール型ドライ真空ポンプ
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
メンテナンスに特化したスクリュー式ドライ真空ポンプ
新シリーズ登場！ガスの固着や粉体の目詰まりでお困りのユーザー様へ自信を持ってお届け！
メンテナンスに特化した『スクリュー式ドライ真空ポンプ』は、生産品に対する 歩留まりの向上に大きく貢献できる製品です。 突発的なポンプケーシング内面での固着や詰まりを、ケーシングを上下に 分割して清掃、復旧ができる二分割形ケーシングタイプの「MDP-535AT」、 「MDP-680AT」の2種類を新ラインアップ。 真空ポンプでお困りのユーザー様の様々なシーンで活躍できる製品を ご提供致します。 【特長】 ■メンテナンスに特化 ■生産品に対する歩留まりの向上に大きく貢献 ■応急処置による素早い復旧が可能 ■上下のケーシングを取り外すことが出来るので原因を特定し易い ■特殊技術は不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大晃機械工業株式会社 陸上事業部
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ『ECODRY 40 / 65 plus』
低騒音・低振動で快適な作業環境を実現
『ECODRY plus』は会話やエアコンの音よりも静かな小型ドライポンプです。 サイレンサーを内蔵しており、運転音はわずか52dB未満と超低騒音を実現。 振動も少なく、作業に集中できる環境づくりに貢献します。 パーティクルが排気チャンバーに侵入せずクリーンな真空を確保するほか、 オイル・シール交換といったメンテナンスが不要。デモ機を用意しています。 【特長】 ■研究所など静かでクリーンな環境が求められる空間に好適 ■水蒸気排出量の許容値が高い ■軽量・コンパクト ■キャスター付きで移動が簡単 ※「PDFダウンロード」から製品が掲載された資料をご覧いただけます。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ JVP-10L
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気のみ対応。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
- 企業：株式会社Joman 本社
- 価格：1万円 ~ 10万円
ドライ真空ポンプ JVP-00Proシリーズ
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気・排気両方に対応（JVP-20Proは吸気のみ）。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
- 企業：株式会社Joman 本社
- 価格：1万円 ~ 10万円
ドライ真空ポンプ『MU-PE/HEシリーズ』
- 省エネ「だけじゃない」 - 軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能
『MU-PE/HE シリーズ』は、軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能な ルーツ型ドライ真空ポンプです。 HOT-N2パージを搭載したMU-HEシリーズ (※オプション対応) 【仕様】 ■プロセス耐性 ■消費電力0.6kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
