更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工！ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
【ライトケミカルプロセス向け】安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現しました。
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈するN2パージ機構を追加しました。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ★他にも多様な流体を移送するポンプを取り揃えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工でハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは150μｍ以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。試薬、農業、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【VP4シリーズ ラインナップ】 ■VP4-501 ■VP4-651 ■VP4-801 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
お客様に新たな価値を提供するドライポンプソリューション。廃棄物の削減や消費エネルギーの削減を実現する、環境に配慮したポンプです。
今、環境問題は世界的に注目されています。ドライ真空ポンプの使用に切り替えることによって、オイルや廃棄物を削減することができ、消費電力を減らすことで二酸化炭素の排出量を削減ることができます。 また、空冷式のポンプを選択すれば、水の使用量も削減できます。 ライボルトはさまざまなドライポンプ製品群を提供しています。多様な特長を持つドライポンプから、お客様の課題を解決するソリューションが見つかります。
エッチングなどのミディアムプロセスにおいて世界NO.1の低消費電力を実現！ 新しい外観デザインでNewリリース
プロセス耐性と省エネ性能がさらに進化！ 外観を刷新し、省フットプリントデザイン！ 【仕様】 ■プロセス耐性の継承と進化 ■低消費電力 ■世界最小クラスの省フットプリント ■SENI/CE/NRTL 各規格に対応
Pfeiffer社のハーシュプロセス向け最新ドライポンプ
世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプ 【特徴】 ○持続可能、堅牢 ○多用途 ○省エネルギー ◯高吸気流量に対応 ○効率的なドライルーツ式 ＊1：PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メンテナンスサイクルの信頼性を引継ぎつつ静音性を向上 外観デザインを一新！ NeoDry-Gシリーズ
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！ NeoDry-Eシリーズと比較しデザインを一新、静音性能、水蒸気処理能力がパワーアップしたGシリーズをリリース！ 【特徴】 〇100V/200Vどちらでも使用できるワイド電源仕様 〇静音化 〇水蒸気処理量アップ！ 〇IEC電源コネクタ採用！ 〇高調波規格標準対応！ 〇シリアル通信機能装備！ ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードください
食品の真空冷却に最適な、凝縮液に強いドライ真空ポンプ
食品業界の真空冷却乾燥工程では食品の品質保持と効率的な冷却が求められます。 特に、真空冷却乾燥過程で発生する凝縮液への対策は、真空ポンプの性能を左右する重要な要素です。 凝縮液がポンプに悪影響を及ぼすと、乾燥冷却効率の低下やポンプの故障につながる可能性があります。 TRVシリーズは、ダウンフロー構造により凝縮液の影響を最小限に抑え、安定した真空乾燥冷却を可能にします。 【活用シーン】 ・食品の真空乾燥冷却 ・食品の真空濃縮 ・冷却過程で凝縮液が発生する用途 【導入の効果】 ・凝縮液によるトラブルを軽減 ・安定した真空環境の維持 ・食品の乾燥工程、濃縮工程の向上
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
凝縮液に強く、実験を強力にサポートするドライ真空ポンプ
研究機関における実験では、真空環境が不可欠であり、実験内容によっては凝縮性ガスへの対応が求められます。 特に、反応生成物や溶媒の蒸気など、凝縮しやすい物質を扱う実験においては、真空ポンプの性能が実験の成否を左右します。 TRVシリーズは、ダウンフロー構造により凝縮液の影響を受けにくく、安定した真空環境を提供します。 これにより、実験の再現性向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・化学実験 ・分析実験 ・乾燥実験 ・蒸留実験 【導入の効果】 ・凝縮液によるポンプの停止リスクを低減 ・安定した真空度の維持 ・実験の効率化と精度の向上
水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ
◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体（凝縮性ガス）を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【限定5社】油回転・スクリュー式真空ポンプの代替として注目のドライ真空ポンプ「FT6-P型」を無料にてデモ機を貸出致します！
株式会社アンレットのドライ真空ポンプ「FT6-P型」は油回転式真空ポンプ・スクリュー式真空ポンプの問題点を解消したオイルフリーで、停止直後の再起動が可能な空冷式ドライ真空ポンプです。 無料デモ機貸出中！ ※デモ機を希望の企業様はお問い合わせより「デモ機貸出希望」と記載の上、 お問い合わせください。 ※貸出状況により、お待ちいただくことがございます。その際は、ご了承ください。 ※貸出状況は直接お問い合わせください。 ◎製品詳細についてはカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
装置メーカーへの導入実績多数！押出成形機用のドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【医薬業界向け】乾燥プロセスを支える、凝縮液に強い縦型ドライ真空ポンプ
医薬品業界における乾燥プロセスでは、製品の品質保持のため、真空環境の維持が重要です。 特に、水分の除去と製品の安定化が求められます。 TRVシリーズは、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして開発され、乾燥プロセスにおける課題解決に貢献します。 【活用シーン】 * 医薬品の乾燥プロセス * 製薬工場 * 研究開発施設 【導入の効果】 * 高い真空性能による乾燥効率の向上 * 凝縮液への強さによる安定した運転 * 製品品質の向上
食品プラント、化学プラント向けに実績多数ありの縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ガス流路に水を使用しない為、水汚染を防止！水封式真空ポンプ /・油回転ポンプの置換用に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれば低コスト化が可能。他社には無い立型ドライ真空ポンプです。
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置用ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
化学プラント、医薬製プラントの溶剤回収に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
材料供給工程の空気輸送から、滞留ガスのない高品質プラスチック製品に必須の射出成型/押出成形における脱気までお任せください！
サイロや大型バッグからプラスチックを加工するマシンまで、原料を安全・確実に運ぶ空気輸送。高品質プラスチック製造に欠かせない、射出成型/押出成形におけるガスや蒸気の脱気。ブッシュの真空ポンプは世界のプラスチック業界で実績を積んでいます。 是非導入事例をご覧ください。
新シリーズ登場！ガスの固着や粉体の目詰まりでお困りのユーザー様へ自信を持ってお届け！
メンテナンスに特化した『スクリュー式ドライ真空ポンプ』は、生産品に 対する歩留まりの向上に大きく貢献できる製品です。 突発的なポンプケーシング内面での固着や詰まりを、ケーシングを上下に 分割して清掃、復旧ができる二分割形ケーシングタイプの「MDP-535AT」、 「MDP-680AT」の2種類を新ラインアップ。 【特長】 ■メンテナンスに特化 ■生産品に対する歩留まりの向上に大きく貢献 ■応急処置による素早い復旧が可能 ■上下のケーシングを取り外すことが出来るので原因を特定し易い ■特殊技術は不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式 ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈する N2パージ機構を追加しました。 当社は、2024年2月20日（火）〜22日（木）、東京ビッグサイト西ホールにて 開催される「スマートファクトリーJapan 2024」に出展いたします。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
