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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【ライトケミカルプロセス向け】安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現しました。
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈するN2パージ機構を追加しました。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ★他にも多様な流体を移送するポンプを取り揃えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
地球環境にベストマッチのルーツ式！低コストのドライ真空ポンプ
『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
エンドレス方式で省エネ・低騒音！軸封はドライシール方式
当社で取り扱う、株式会社アンレットの「空冷式ドライ真空ポンプ」について ご紹介いたします。 内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が 得られます。また、吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び 作業者の健康を守ります。 大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。 【特長】 ■エンドレスケーシングで高効率・低騒音 ■分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易 ■ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音・低振動 ■摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単 ■凝縮性気体のドレン回収も可能 ■構造が簡単で耐久力が抜群 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、代理店の株式会社京二にお問合せ下さい
高真空1.3kPa[abs]の連続運転をドライで実現
【仕様】 ■到達圧力 1.3kPa[abs]以下 ■流量 179L/min(60Hz) 【特長】 ■到達圧力1.3kPa[abs]以下の状態で連続使用ができ、高真空を必要とする各種業界に最適です。 ■モータフランジ直結のコンパクトタイプです。 ■運転音が小さく長寿命です。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
押出成形機のベントガス用として実績多数あり！押出成形機用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中！
アネスト岩田のドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」にISP-250Eが新しくラインアップに加わります。従来モデルに対してリーク性能が2ケタ向上！1年目または8000時間のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみとなり、メンテナンスコストを大幅に削減しました。 お客様に進化を実感していただけることを目指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆ISP-250Cをご使用のお客様は本体交換によりISP-250Eにアップグレードが可能 ※総合カタログも進呈しております。詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気のみ対応。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプ。
吸気・排気両方に対応（JVP-20Proは吸気のみ）。 排気がクリーン、サンプルを汚染しません。 圧力調整可能・24時間連続稼働可能 過負荷・過熱・短絡保護機能を搭載し、安心して使用できます。 高精度の真空計を採用し、反応が速く正確に圧力を把握できます。 静音仕様で、動作音が小さく快適に使用できます。 コンパクトなサイズで、省スペース設置が可能です。
水封式真空ポンプからの置換えに適したタフなドライ真空ポンプ
◆化学業界において、 水封式真空ポンプからドライポンプへ 置き換える際に、 様々な吸引物により、 一般的なドライ真空ポンプでは 不具合が発生することがありますが、 当社のドライ真空ポンプは 吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、 安定した連続運転が可能です。 ◆一般的なドライ真空ポンプでは、 少量でも内部に 凝固性ガス・粉体・生成物・液体（凝縮性ガス）を 吸引すると、 故障の原因となりますが、 当社のドライ真空ポンプは 独自設計のスクリューロータにより、 吸引物を排出します。 ◆オプションのクリーニングセットにより、 設置した状態のまま、 内部に残った吸引物を 洗い流す作業が可能です。 ◆オプションのシール・パージセットにより、 軸受・ギア等への汚染を防ぎます。 ◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、 メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、 ドライポンプ単体にまとめることができ、 簡略化・省スペースになります。 ◆設置場所にて、分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄）ができ、 ランニングコストを最小限に抑えます。
【限定5社】油回転・スクリュー式真空ポンプの代替として注目のドライ真空ポンプ「FT6-P型」を無料にてデモ機を貸出致します！
株式会社アンレットのドライ真空ポンプ「FT6-P型」は油回転式真空ポンプ・スクリュー式真空ポンプの問題点を解消したオイルフリーで、停止直後の再起動が可能な空冷式ドライ真空ポンプです。 無料デモ機貸出中！ ※デモ機を希望の企業様はお問い合わせより「デモ機貸出希望」と記載の上、 お問い合わせください。 ※貸出状況により、お待ちいただくことがございます。その際は、ご了承ください。 ※貸出状況は直接お問い合わせください。 ◎製品詳細についてはカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
材料供給工程の空気輸送から、滞留ガスのない高品質プラスチック製品に必須の射出成型/押出成形における脱気までお任せください！
サイロや大型バッグからプラスチックを加工するマシンまで、原料を安全・確実に運ぶ空気輸送。高品質プラスチック製造に欠かせない、射出成型/押出成形におけるガスや蒸気の脱気。ブッシュの真空ポンプは世界のプラスチック業界で実績を積んでいます。 是非導入事例をご覧ください。
新シリーズ登場！ガスの固着や粉体の目詰まりでお困りのユーザー様へ自信を持ってお届け！
メンテナンスに特化した『スクリュー式ドライ真空ポンプ』は、生産品に 対する歩留まりの向上に大きく貢献できる製品です。 突発的なポンプケーシング内面での固着や詰まりを、ケーシングを上下に 分割して清掃、復旧ができる二分割形ケーシングタイプの「MDP-535AT」、 「MDP-680AT」の2種類を新ラインアップ。 【特長】 ■メンテナンスに特化 ■生産品に対する歩留まりの向上に大きく貢献 ■応急処置による素早い復旧が可能 ■上下のケーシングを取り外すことが出来るので原因を特定し易い ■特殊技術は不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式 ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈する N2パージ機構を追加しました。 当社は、2024年2月20日（火）〜22日（木）、東京ビッグサイト西ホールにて 開催される「スマートファクトリーJapan 2024」に出展いたします。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
食品プラント、化学プラント向けに実績多数ありの縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置用ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
内部で発生した凝縮液は運転中でもドレンタンクで回収が可能！乾燥装置用真空ポンプとして実績多数あり
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
化学プラント、医薬製プラントの溶剤回収に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ガス流路に水を使用しない為、水汚染を防止！水封式真空ポンプ /・油回転ポンプの置換用に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
装置メーカーへの導入実績多数！押出成形機用のドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【医薬業界向け】乾燥プロセスを支える、凝縮液に強い縦型ドライ真空ポンプ
医薬品業界における乾燥プロセスでは、製品の品質保持のため、真空環境の維持が重要です。 特に、水分の除去と製品の安定化が求められます。 TRVシリーズは、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして開発され、乾燥プロセスにおける課題解決に貢献します。 【活用シーン】 * 医薬品の乾燥プロセス * 製薬工場 * 研究開発施設 【導入の効果】 * 高い真空性能による乾燥効率の向上 * 凝縮液への強さによる安定した運転 * 製品品質の向上
食品の真空冷却に最適な、凝縮液に強いドライ真空ポンプ
食品業界の真空冷却乾燥工程では食品の品質保持と効率的な冷却が求められます。 特に、真空冷却乾燥過程で発生する凝縮液への対策は、真空ポンプの性能を左右する重要な要素です。 凝縮液がポンプに悪影響を及ぼすと、乾燥冷却効率の低下やポンプの故障につながる可能性があります。 TRVシリーズは、ダウンフロー構造により凝縮液の影響を最小限に抑え、安定した真空乾燥冷却を可能にします。 【活用シーン】 ・食品の真空乾燥冷却 ・食品の真空濃縮 ・冷却過程で凝縮液が発生する用途 【導入の効果】 ・凝縮液によるトラブルを軽減 ・安定した真空環境の維持 ・食品の乾燥工程、濃縮工程の向上
凝縮液に強く、実験を強力にサポートするドライ真空ポンプ
研究機関における実験では、真空環境が不可欠であり、実験内容によっては凝縮性ガスへの対応が求められます。 特に、反応生成物や溶媒の蒸気など、凝縮しやすい物質を扱う実験においては、真空ポンプの性能が実験の成否を左右します。 TRVシリーズは、ダウンフロー構造により凝縮液の影響を受けにくく、安定した真空環境を提供します。 これにより、実験の再現性向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・化学実験 ・分析実験 ・乾燥実験 ・蒸留実験 【導入の効果】 ・凝縮液によるポンプの停止リスクを低減 ・安定した真空度の維持 ・実験の効率化と精度の向上
