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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【ライトケミカルプロセス向け】安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現しました。
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈するN2パージ機構を追加しました。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ★他にも多様な流体を移送するポンプを取り揃えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
地球環境にベストマッチのルーツ式！低コストのドライ真空ポンプ
『FT6/CT6シリーズ』は、ルーツ式のドライ真空ポンプです。 パッケージレスで低コスト。ロータリーポンプの取替に最適です。 「CT6シリーズ」は水冷式、「FT6シリーズ」は空冷式です。 また「CT6シリーズ」をパッケージ化した「CT6-PCシリーズ」や メカニカルブースタと組み合わせた「MCT7シリーズ」も ラインアップしています。 【特長】 ■6段ルーツ式ドライ真空ポンプ ■オイルフリー・接ガス部ドライでクリーン排気 ■高真空・高効率・省エネ ■電源リサイクルによる性能違いを解消 ■パッケージ式は各種モードで運転可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 【お問い合わせは正規代理店のエイチアールディーまで！】
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
押出成形機のベントガス用として実績多数あり！押出成形機用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
化学プラント、医薬製プラントの溶剤回収に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ガス流路に水を使用しない為、水汚染を防止！水封式真空ポンプ /・油回転ポンプの置換用に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
装置メーカーへの導入実績多数！押出成形機用のドライ真空ポンプ
『TRMシリーズ』は、長年の経験と数々の実績を持った汎用ルーツ形ドライ真空ポンプです。 中間冷却器により効率よく安定した温度で運転が可能です。 また、溶剤等の凝縮液の回収が可能で、真空乾燥、蒸留、脱ガスなどの凝縮性ガスの吸引に最適なドライ真空ポンプです。 ドライ真空ポンプ単体で約2m³/minから35m³/minまでの広範な排気速度をカバーすることが出来、ステンレスなど耐食材質製とする特殊仕様にも対応することが出来る汎用ドライ真空ポンプです。 【特長】 ○幅広い作動範囲 ○完全ドライ ○水の汚染がない ○長期の連続運転 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中！
アネスト岩田のドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」にISP-250Eが新しくラインアップに加わります。従来モデルに対してリーク性能が2ケタ向上！1年目または8000時間のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみとなり、メンテナンスコストを大幅に削減しました。 お客様に進化を実感していただけることを目指したモデルとなっておりますので、デモ機の貸出しをご希望の方は、お問い合わせ内容に『デモ機希望』とご記載いただければ幸いです。 ※ご使用用途によって貸出しができない場合がございます。 【特長】 ◆1年目または8000時間毎のメンテナンスではクリーニング・グリスアップのみ ※当社が推奨している使用状況で標準的なメンテナンスの場合 ◆部品の素材変更によりリーク性能が2ケタ向上 ◆ISP-250Cをご使用のお客様は本体交換によりISP-250Eにアップグレードが可能 ※総合カタログも進呈しております。詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【限定5社】油回転・スクリュー式真空ポンプの代替として注目のドライ真空ポンプ「FT6-P型」を無料にてデモ機を貸出致します！
株式会社アンレットのドライ真空ポンプ「FT6-P型」は油回転式真空ポンプ・スクリュー式真空ポンプの問題点を解消したオイルフリーで、停止直後の再起動が可能な空冷式ドライ真空ポンプです。 無料デモ機貸出中！ ※デモ機を希望の企業様はお問い合わせより「デモ機貸出希望」と記載の上、 お問い合わせください。 ※貸出状況により、お待ちいただくことがございます。その際は、ご了承ください。 ※貸出状況は直接お問い合わせください。 ◎製品詳細についてはカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
- 省エネ「だけじゃない」 - 軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能
『MU-PE/HE シリーズ』は、軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能な ルーツ型ドライ真空ポンプです。 HOT-N2パージを搭載したMU-HEシリーズ (※オプション対応) 【仕様】 ■プロセス耐性 ■消費電力0.6kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
