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水封式真空ポンプからドライ真空ポンプへの切替のご提案
『オートドレントラップ AADT』は、気体と液体(ドレン)を 同時吸引しても、真空ポンプへの液体を防止できる ドライ真空ポンプです。 水などの液体を99％除去し、真空ポンプ運転中も真空度を 損なうことなくドレンを排出できるため、 長時間連続運転が可能です。 【特長】 ■水封式ポンプに比べ、電気・水道代が、約3割安くなる ■連続運転しながらドレン排出が可能(真空度：-50～-90kPa) ■ドレン排出量 ・50Hz地区：20L/min ・60Hz地区：25L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
ロータリーベーン式ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ
メンテナンスコスト・ランニングコストが低く 長寿命を実現した、中型のドライ真空ポンプ 【特徴】 ○完全ドライ・オイルフリー ○モーター一体または直結の軽量コンパクト設計 ○メンテナンスフリー ○静音（低運転音）で持ち（耐久性）が違う ○到達圧での連続運転が可能 ○オプションで防錆タイプでは 湿気のあるエアーの吸気にも対応可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化する真空・加圧ソリューション！
【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長】 ■コンパクト：真空／圧縮空気源として各種装置に組み込み可能 ■終身潤滑ベアリング：優れたアップタイムを実現 ■自己潤滑ベーン：封液や潤滑液を使わないドライな圧縮が可能 ■高信頼：確立されたロータリーベーン原理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ブッシュのドライポンプのご紹介
製薬・ケミカル業界をはじめとする様々な産業工程に適した真空ポンプです。 【ドライポンプの特徴】 ・ATEX防爆仕様（ゾーン0、ソーン1に対応） ・オイルフリー非接触圧縮方式 ・シンプル・堅牢な構造のドライポンプ ・数多くのサイズとバージョンに応じて最適な真空ポンプの選定が可能 ・設計排気速度：110 - 720 m³/h (50 Hz) 、130 - 900 m³/h (60 Hz) ・到達真空度：0,01 - 0,05 hPa (mbar)
『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポンプ MINK MVシリーズ
MINK MV シリーズは、世界の製造現場で実績を積む、高効率なドライ真空ポンプです。 動作原理は非接触式のため摩耗がありません。従って効率が高く、消費電力が抑えられています。また、プロセスガスの圧縮に潤滑油や封液などが不要なことからもコストが抑えられます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
目に見えない真空。実は身の回りには真空の力を借りて作られているものがたくさんあるのです！
食品の鮮度を保ったり、ドリルの刃を強くしたり、傷付けずに車のフロントガラスを掴んだり。真空は生産現場の縁の下の力持ちです。 事例から、真空の活躍を垣間見てみませんか？
押出成形機の真空ポンプにお困りではありませんか？『水封式真空ポンプ』や『ドライ真空ポンプ』などの課題と解決策をご紹介！
製品の品質を左右する押出成形機の重要な機器である真空系で お困りではありませんか？ 当資料では、“水封式真空ポンプ”や“ドライ真空ポンプ”などの 課題と解決策について掲載。 当社は、オイル式、水封式、ドライ式（スクリュー、クロー、ルーツ）と 様々な原理の真空ポンプを取り扱っており、お客様のプロセスに 適した製品をご提案可能です。 課題解決に、ぜひご活用ください。 【掲載内容】 ■既設設備の課題 ■水封式真空ポンプ：課題と解決策 ■ドライ真空ポンプ：課題と解決策 ■その他の課題と解決策 ■日本ブッシュの実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
抜群の耐食性と扱いやすさ
真空室内にテフロン系部品を採用しており、有機溶媒系ガや腐食性ガスの吸引などに、抜群の耐食性を発揮します。
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工でハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは150μｍ以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。試薬、農業、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【VP4シリーズ ラインナップ】 ■VP4-501 ■VP4-651 ■VP4-801 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDEシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 独自のスクリュー形状で省エネを実現(X) 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
