【成功事例】フチダレの改善はこれ!研磨PADの状態を知る
フチダレ⋯いわゆるワークのフチの部分が垂れている(多く磨かれている)理由を知ると自ずと対策がわかります。
フチダレ⋯別名「エッジロールオフ」なんて呼ばれたりしますが、実は平面研磨を行う上で一度は当たる課題でもあったりします。 このフチダレの原因はある程度絞ることができます。 1.PADの硬さ・弾性・厚み 2.PADの精度 3.加工条件 4.ドレスムラ なかでもPAD精度とドレスムラについては、研磨業界ではよくある問題で、これの改善や対策のために加工条件の検討やPADの貼替えを行っている場合が多々あります。 が…正直もったいないです。 八千代マイクロサイエンス自慢のDP付き修正キャリアを使えば、簡単に修正ができる場合がものすごく多いです! 研磨でのフチダレでお困りの場合は是非ご相談ください。
- 企業:八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格:応相談