12インチ対応プロファイラ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

全自動12インチ対応プロファイラ『WEIM-12F』

高精度・高速自動測定を実現！インライン管理に対応した全自動プロファイラ複合検査機。

『WEIM-12F』は、高精度かつ高速で自動測定が可能なFUPE対応の全自動プロファイラ複合検査機です。 Wハンド反転機構つきロボットで取出したウェハをアライメントの後、ウェハ厚み測定、直径測定、ノッチ測定、プロファイラ測定を測定して収納します。MELCEC-net通信でインライン管理ができるシステムです。 【特長】 ■高精度・高速自動測定 ■レーザー変位計2台でウェハ中心と外周の厚みを測定 ■幅径測定機2台でウェハ外径を直径法で測定 ■表裏から2台の光学カメラでガラス/Siのノッチ測定とノッチズレ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。