2軸補正機構 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

XY/XZピエゾステージ｜光学位置ズレを抑える2軸補正機構

0.2nm分解能と120µm動作量で、干渉計・光学調整の位置再現性を維持

P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸　各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能：0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応（分解能2nm） ・耐荷重15N ・Z軸のみ（P-611.Zx）、XYZ軸（P-611.3x）のモデルも用意 用途：干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。