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X，Y，Z軸で表される3次元空間の加速度を各軸の加速度成分に分離して検出する新タイプの加速度センサです。
3軸加速度センサはX，Y，Z軸で表される3次元空間の加速度を各軸の加速度成分に分離して検出する新タイプの加速度センサです。 加速度の検出方法に静電容量式を採用し、構造が簡単で低価格を実現しました。 そして、この加速度センサを利用した地震感知器は、縦揺れの検出用、水平全方向からの横揺れ検出用等、 お客様の要求にマッチした製品へ柔軟にカスタマイズする事が可能です。
半導体・精密機器の微小な床振動を確実に捉える高感度設計。TEDS対応で感度設定を自動化し、多点計測の作業効率を劇的に改善。
【床振動・環境計測に最適な高感度設計】 100mV/m/s²の高出力により、一般的なセンサーでは捉えにくい微小な床振動も高いS/N比で明瞭に検出。 サイトサーベイ（設置環境調査）や除振台の性能評価など、高精度な振動管理が求められる用途に適しています。 【現場の効率と信頼性を高める機能】 ・設定ミスを防止（TEDS対応） センサー内に感度情報を保持し、対応機器に接続するだけで自動認識。多点計測時の設定ミスを防ぎ、立ち上げ時間を短縮します。 ・アンプ内蔵でノイズに強い（CCLD方式） 外部アンプ不要。同軸ケーブル1本で接続でき、長距離配線でも安定した測定が可能です。 ・軽量・高剛性チタンボディ 質量13.5gの軽量設計で対象物への影響を最小化。耐食性・耐久性にも優れています。 電子顕微鏡や露光装置の設置診断、精密加工機の振動評価、建物の微振動測定など、幅広い高精度計測に対応します。
