AFM-IR装置 8インチ(200 mm)ウエハ対応
8インチ(200mm)ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。
高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応
- 企業:株式会社日本レーザー
- 価格:応相談
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8インチ(200mm)ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。
高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応