ALダメージレスSIエッチング液 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

AlダメージレスSiエッチング液（異方性）

Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。 ・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。 ・ エッチング液の劣化が少ないです。 ・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。 キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング