FOUP Analyzer
全てのAMCカテゴリーの検出を高感度で実現できます
〇比類なき感度 ・pptvレベルでのAMCの広範囲ガバレッジ 〇比類なき測定スピード ・測定時間～30秒/FOUP ・プロセス間の遅延を最小限にするために統合された高速FOUPハンドリングソリューション 〇AMC定量分析のためのFOUPハイスループットサンプリング ・各FOUP30s 以内のサンプリングでAMCの状況を網羅的に提供 ※下図参照 ・検出されたAMCの濃度に基づきFOUP次処理に適合・不適合を判断 ・特定FOUPサンプルでの測定は変動20%以下の高い再現性 〇FOUPからのPFAS検出 ・FOUPからのPFAS排出をリアルタイムでモニター可能 ・低pptvあるいはppqレベルのPFASを高精度で測定可能 ・PFASの環境規制強化への対応には、新たなAMC検出が必要不可欠
- 企業：株式会社ダルトン
- 価格：応相談
