CMPスラリー濃度計(水素) - 企業1社の製品一覧

オンライン密度計式　CMPスラリー濃度計

国内外での実績豊富。スラリーの固形分濃度の算出。ノーメンテナンス　3年保証。

　オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーでスラリー液体の測定が可能なスラリーモニターです。　濃度調整用のほか、再生用や戻り（リターン）配管への設置など、様々なポイントに設置できます。　砥粒についてもシリカ、アルミナ、酸化セリウム他、様々な素材に対応可能です。Si用のほか、SiC用にも対応します。　過酸化水素（H2O2）の濃度、過マンガン酸カリウム（KMnO4）の濃度調整などに使用することも可能です。　接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、アルカリにも対応し、幅広い可能性を秘めています。密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。　下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。