CVD・MOCVDカスタマイズ装置
多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計
当社では、研究開発や小規模バッチ量産向け装置である、 「CVD・MOCVDカスタマイズ装置」を取り扱っております。 CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計で、 PLUM、FLARION及びMIRENIQUEシリーズの多彩なプラズマソースが搭載可能。 また、FLOCONシリーズのフロー管理システムを搭載しております。 【特長】 ■研究開発や小規模バッチ量産向け装置 ■CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計 ■PLUM、FLARION及びMIRENIQUEシリーズの 多彩なプラズマソースが搭載可能 ■FLOCONシリーズのフロー管理システムが搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
