CVDコーティング炉(成膜) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

マルチ雰囲気炉｜液体原料を気化導入する熱CVDコーティング炉

気化器＋マルチ雰囲気炉で、狭隙・内面・凹部への熱CVDコーティングを検討

従来のコーティングでは、原料溶液を部材表面に塗布し、乾燥後に電気炉で焼成する方式が一般的です。 しかし、狭い隙間、内面、凹部、段差部を持つ部材では、塗布ムラや未塗布部が発生しやすく、塗布量・乾燥収縮・焼成後膜厚のばらつきが課題になる場合があります。 当社のマルチ雰囲気炉は、Wetter方式だけでなく、気化器を接続することで、液体原料や有機金属前駆体を気化導入する熱CVD炉としての構成も検討可能です。 気化器で原料を安定供給し、キャリアガスで炉内へ導入することで、部材表面に気相反応による膜形成・コーティングを行うプロセス開発に活用できます。 【特長】 ■ 液体原料・有機金属前駆体の気化導入に対応 ■ 熱CVD、表面改質、コーティング条件の検討が可能 ■ 狭隙、内面、凹部、段差部を持つ部材への成膜を検討可能 ■ 塗布・乾燥工程の省略による工程短縮を期待 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。