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CVD用電源×トルンプ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

CVD用電源の製品一覧

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TruPlasma Bipolar 4000(G2.1)シリーズ

波形と周波数のフレキシビリティ!圧倒的な品質と性能を誇るプラズマCVD用電源

『TruPlasma Bipolar 4000(G2.1)シリーズ』は、半導体製造、建築用 ガラスコーティング、太陽電池生産、高品質の硬質・装飾コーティング、 光学膜向けの水冷式電力供給装置です。 信頼性と性能が重要となるプラズマCVD(PECVD)と二重陰極スパッタリング プロセスに好適。 エネルギー効率と力率、最高クラスのアーク制御を有します。 【3つの大きな利点】 ■波形と周波数のフレキシビリティ ■最高クラスのアーク制御 ■エネルギー効率と力率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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