EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C
EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.) ○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許） ○完全デジタル操作 ○超高性能1.125インチ幅 ○面実装ガス インターフェイス対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社リンテック 東京営業所
- 価格：10万円 ~ 50万円
