FOUPセンサ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【CANTOPS】FOUP センサー　

接触式センサにより、光ノイズの影響を受けず安定した検知が可能！1,000万回以上の高耐久設計

本製品は、半導体製造装置のロードポートやSTB、ストッカーなどに設置し、ウェーハキャリア（FOUP/FOSB/POD/MAC）を検知するセンサです。 接触式のため、周囲の光ノイズや電磁ノイズの影響を受けず、対象物の有無を安定して検知できます。 また、内部に光学式検出機構を採用しており、1000万回以上の耐久性を実現しています。