高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』
IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現！
高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全システムが装備されています。 ■特長 ・ デバイス・ウエハー・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・ガス監視やN2パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策 ・材質や形状を問わず、高純度IPAを用いたクリーン乾燥が可能 ・オールステンレスにより破損の危険性を排除 ・ペーパーゾーン、ドライゾーンに分け、持ち出しIPA を削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
