【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ Z軸
圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。 Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：THKプレシジョン株式会社
- 価格：応相談
