SEM装置歪評価 - 企業1社の製品一覧

SEM装置での歪み評価

EBSD：電子後方散乱回折法

TEM（NBD：Nano Beam Diffraction）のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。 また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。

• 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
• 価格：応相談

• 受託解析