XYステージ(AOI検査/±1µm位置決め)高精度スキャン向け
自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
- 企業:PIジャパン株式会社
- 価格:応相談
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自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX(XYステージ)は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、2DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。