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XYステージ(高速) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

XYステージの製品一覧

1~3 件を表示 / 全 3 件

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XYステージ(AOI検査/±1µm位置決め)高精度スキャン向け

自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化

V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。

  • その他機械要素
  • 直交ロボット
  • エンコーダー
  • XYステージ

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XYステージ|高速搬送でも位置決め品質を維持する多軸システム

最大407mmの広範囲位置決めと装置連携により、検査・加工工程のタクトと再現性を両立

■Performance 1:サーボモータとボールねじステージ構成 ■Performance 2:高精度向け、サーボモータとボールねじ駆動ステージ構成 ■Performance 3:高速・高精度向け、リニアモーターステージ構成 Z軸は、保持ブレーキ付きタイプで対応します。 ACSベースG-901コントローラはモーション+I/O+安全機能を統合し、装置PLCとのEtherCAT(R)接続を即完了。 レーザー加工、超短パルスレーザー加工、テストや精密検査、電子機器製造に最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

  • csm_X-417.2xx_frame_boards_3c9d85fd9d.jpg
  • csm_X-417.0xx_42573bc6ea.jpg
  • リニアモータ
  • アクチュエーター
  • 直交ロボット
  • XYステージ

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電動アクチュエータ EX (精密ステージ) [THK公式]

優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX(XYステージ)は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、2DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。

  • 半導体検査/試験装置
  • その他機械要素
  • アクチュエーター
  • XYステージ

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