技術資料「アクティブ除振は何故必要なのか」
アクティブ除振が必要な理由について、パッシブ除振台の限界・アクティブ除振台の原理、対応する弊社商品VAAVシリーズについて説明。
＝掲載内容＝ １．パッシブ除振台の限界 ２．アクティブ除振台の原理 ３．VAAVの特⻑ ４．VAAVの除振効果 (振動伝達率) ５．VAAVの制振効果 (ステージ移動荷重に対する定盤の応答) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社昭和サイエンス
- 価格：応相談
アクティブ除振台 - メーカー・企業と製品の一覧
アクティブ除振台の製品一覧
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Seismion アクティブ除振台 「Reactio pro」
全ての振動が気になるアプリケーションに！
Seismion社製のアクティブ除振台は、高感度のピエゾセンサー、非接触ボイスコイルアクチュエーターおよびノイズと歪みのないアナログ制御回路で設計されており、堅牢な電気的なフィードバック制御によって、特に低周波の振動に対し、優れた性能を発揮し、除振を中断、停止することなく、外乱、振動を処理します。８つのセンサーとメーカー独自のアクチュエーターのペアにより6DOF全てのモーションを制御します。半導体製造関連、顕微鏡、干渉計、3-Dプリンティング、他様々な計測用途、ラボでの実験用途等、様々な外乱、振動が問題となるアプリケーションに最適なアクティブ除振台です。
- 企業：オーテックス株式会社
- 価格：応相談
【テクニカルガイダンス】精密振動系製品
パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで！ナノ時代のファインテクノロジーを支える特許機器
当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のための テクニカルガイダンスです。 装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、 空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、 振動制御技術バリエーションなどを掲載。 パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで『精密振動系製品』を 多数紹介しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■ナノ時代のファインテクノロジーを支える「精密振動系」 ■微振動環境をトータルサポートする特許機器 ■装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットαシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：特許機器株式会社
- 価格：応相談
