アパチャ薄型ステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ALIO Industries　大口径アパチャ薄型ステージ

リニアモーター搭載で超大口径アパチャー薄型ステージ

リニアモーターを利用した超大開口の超薄型回転ステージ。その特徴を生かし、Monolithic XYステージと組み合わせて、アライメントやActive yewに適したステージです。 大型ウェハの微調整用におすすめです！ぜひ動画をご覧ください