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X軸を標準設定 θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをアップデート
『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを 標準設定として新規追加したアライメントステージです。 回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。 ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組合せが自由に ■薄形、コンパクト ■省電力、高タクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
