PSAアルゴンガス発生装置『Ar-PSA』
アルゴン回収率が70～80％と高率！連鋳設備排ガスからのアルゴン回収などに好適
『Ar-PSA』は、高純度アルゴン（max. 99.999％）の回収が可能な PSAアルゴンガス発生装置です。 RH 真空脱ガス炉・シリコン単結晶引上げ装置等から排出される アルゴンリッチガスを高純度のアルゴンガスに精製分離することが可能。 吸着剤ゼオライトでは、窒素、一酸化炭素、炭酸ガスに比べ、アルゴンの 吸着量は小さく分離ができるため、ガス等を含むアルゴン混合ガスから 高純度アルゴンの回収精製が行われます。 【特長】 ■高純度アルゴン（max. 99.999％）の回収が可能 ■アルゴン回収率が70 ?80％と高率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：住友精化株式会社
- 価格：応相談
