切削加工事例│A7075アルミニウム合金製丸チャンバー
A7075アルミニウム合金をNC旋盤＆同時5軸加工。半導体製造や真空成膜装置向けの丸チャンバーを製作。高精度な表面粗さをキープ。
半導体製造装置や真空成膜装置に組み込まれる「アルミニウム製丸チャンバー」の加工事例をご紹介いたします。 加工方法は、A7075アルミニウム合金の全切削加工による削り出しで、製品サイズはφ450×300mm。 NC旋盤による箔肉円形状の高精度な仕上げ加工技術と、 水冷ヒートシンクを催した外側溝部を5軸マシニングセンタによる同時5軸加工により、 なだらかにつなぐことで高精度な表面粗さをキープしました。 【事例概要】 ■業界：半導体製造・真空装置 ■加工方法及び加工工程 ・A7075アルミニウム合金の全切削加工による削り出し ■製品サイズ：φ450×300mm ■ロット数：6個/ロット ※こんな加工はできないか…？とお困りの際には、お気軽にお問い合わせください。 ～ NC旋盤×同時5軸加工は大利根精機へ ～
- 企業：大利根精機株式会社 川崎・本社工場
- 価格：応相談
