ウエハーステップハイトのインプロセス測定
「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの測定チャネルを搭載しております
研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。 非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。 【特長】 ■10年以上に及ぶCMPおよび研削の干渉測定から得たノウハウにより、 過酷な環境向けの色収差プローブの開発を実現 ■過酷な環境におけるウエハー厚の非接触式測定 ■プローブごとに10 kHzのデータ取得レート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：プレシテック・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
