排ガス除害・除粉装置・ウェットスクラバー Panacea
ドライエッチ、CVD、エピタキシャル成長プロセスから排出される、有毒ガス、粉体(副生成物)を水だけで高効率で除害します。
大手半導体、フラットパネルメーカー様へ多数納入実績あり！ ■特徴１：発がん性物質の抑制 燃焼除害装置から出る発がん性物質の抑制が可能です。 ■特徴２：水のみでCl2除害効率99%以上 リサイクル水使用による、給水使用料の劇的削減、NaOH量の大幅な使用料削減を実現します。 ■特徴３：生産装置の歩留り向上 燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上を実現による生産装置のダウンタイムの大幅な削減が可能です。 ■特徴４：液晶工場への豊富な納入実績 日本国内のみならず、台湾、中国を中心とした液晶工場への納入実績があります。
- 企業：株式会社東設 本社ヘッドオフィス
- 価格：応相談
