ウェハーダウンサイジングが可能、ウォータージェットレーザー加工。
熱影響が少なくSiCなどの難削材を得意とするウォータージェットレーザー加工で各種ウェハーのダウンサイジングが可能です。
ウォータージェットレーザーを用いれば、12インチシリコンウェハーを8インチへのダウンサイジング加工が可能です。 シリコン、SiC、パターンウェハー、GaN等各種ウェハーのダウンサイジングを受託加工致します。 ウォータージェットレーザーを用いて追加工すれば熱影響が少ない為ダメージレス、また裏表にカケ等ありません。 SEMI規格に準拠したノッチやオリフラを付ける事も可能です。 本来、難削材であるはずのSiCにおいても、レーザーの吸収率が高い事から従来の機械加工では実現不可能な追加工を可能としております。 まずは御気軽にお問合せ下さい。
- 企業：ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
- 価格：応相談
