ウルトラフローカップリング - メーカー・企業と業務用製品

【半導体製造装置向け継手】ウルトラフローSC カップリング

半導体製造工程の液冷システムに特化したステンレス製カップリング。大流量設計により冷却効率がアップ・ランニングコストが低減

半導体製造装置の温度制御においては、精密な冷却システムの安定稼働が不可欠です。特に、クリーンルーム環境での作業や、地球温暖化係数の高い冷媒の使用においては、液漏れや環境汚染のリスクを最小限に抑えることが重要となります。また、冷却効率の低下は、装置の性能に影響を与え、ランニングコストの増加にもつながる可能性があります。セインのウルトラフローSCは、これらの課題に対応するため、半導体製造工程の液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール製カプラーです。【活用シーン】・半導体製造装置のチラーシステム・クリーンルーム環境での液冷配管・高精度な温度管理が求められるプロセス【導入の効果】・液だれによるクリーン環境汚染の防止・液体冷媒の漏出リスク低減・システム全体のエネルギー効率向上・バルブ作動不全の漏れリスク低減