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最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧（0.6MPa以上）・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズは、Max. 240spmの高速ストロークで、小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 【特長】 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2は、Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、CARO（SPM）やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。 【特長】 ●Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。 ●循環流量の向上により、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
