エキシマ照射装置 チューブタイプ
従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！
株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 また、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。 その他、高効率洗浄により、コンベア搬送中の照射も可能です。 エキシマ照射装置は、特長の異なるフラットタイプも取り扱っておりますので、 用途に合わせてお選び下さい。 【特長】 ■準単色光 ■波長172nm ■瞬時点灯点滅 ■コンベア搬送中照射も可能 ■ランプ本数低減、付帯設備不要 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クォークテクノロジー
- 価格：応相談
