エッジ検査ハンドリング装置 - メーカー・企業と製品の一覧

エッジ検査ハンドリング装置（EHI-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）する為の装置です

ウェーハを5枚ずつFOSBから検査ステージへ搬送し、検査後のウェーハは同一FOSBの同一スロットへ戻します。 ウェーハはエッジクランプ方式で取り扱います。