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オージェ分光分析(元素) - 企業1社の製品一覧

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オージェ分光分析

固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。

表面≦5nm深さ、≦10nm径の微小領域、Li~Uまでの元素の高感度元素分析ができます。このため、材料表面の元素組成と化学状態分析、薄膜の分析が可能です。

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