【半導体製造向け】EE741 圧縮空気/ガス用インライン流量計
半導体製造における圧縮ガス流量を正確に計測、リーク検出と省エネに貢献。
半導体製造業界では、製造プロセスにおける清浄度の維持が極めて重要です。圧縮空気や工業用ガス中の微量な汚染物質は、製品の品質を低下させるだけでなく、製造装置の故障を引き起こす可能性があります。特に、リークによるガスの漏れは、清浄度を損なう大きな要因となります。EE741は、圧縮ガス流量を正確に計測し、リークを早期に発見することで、清浄度維持に貢献します。また、省エネにもつながります。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける圧縮空気、窒素ガスなどの流量監視 ・クリーンルーム内のガス供給ラインにおけるリーク検出 ・製造装置へのガス供給量の最適化による省エネ 【導入の効果】 ・リークの早期発見による清浄度の維持 ・ガス使用量の最適化によるコスト削減 ・製品品質の向上 ・製造装置の安定稼働