ガスダイヤフラムバルブ(弁) - メーカー・企業と製品の一覧

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！

『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。