ガントリ固定ステージ(xy軸) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

ガントリ固定型ステージ（石定盤）

ガントリ固定型ステージ（石定盤）

石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 　等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 　2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。