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よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域
必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。
よりクリーンな真空、より高度な真空制御、より広範な真空圧力領域
MARATHON CP-250LP CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。
MARATHON CP-16 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
