【半導体向け】高温炉・真空炉用グラファイトトレー
半導体製造におけるウェーハ搬送を支えるグラファイトトレー
半導体業界では、ウェーハの品質を維持するために、高温環境下での正確な搬送が求められます。特に、熱処理工程においては、ウェーハを均一に加熱し、歪みを防ぐことが重要です。不適切なトレーの使用は、ウェーハの破損や性能劣化につながる可能性があります。当社のグラファイトトレーは、耐熱性、耐薬品性に優れたグラファイト素材を使用し、ウェーハを安全に搬送します。 【活用シーン】 ・高温炉内でのウェーハ搬送 ・真空炉内でのウェーハ搬送 ・熱処理工程におけるウェーハの保持 【導入の効果】 ・ウェーハの破損リスクを低減 ・熱処理工程の効率化 ・製品の品質向上
- 企業：東京炭素工業株式会社
- 価格：応相談
