グリーン関数シミュレータ(熱解析) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

非平衡グリーン関数によるSOI FinFETシミュレータ

SOI FinFETの3D解析ツール

SOI FinFETのシミュレーションフローとそこで使われるツールの概要を説明。プロセスシミュレーターCSupreによる3Dプロセスシミュレーション例を紹介。プロセスシミュレーションで作った構造データをもとに、デバイスシミュレーターAPSYSにおいて量子閉じ込めや酸化層の溶け込みや量子バリスティック電流輸送モデルなどのFinFETのモデリングの特徴とその解析例を紹介。