コントロールチューブ炉(加熱) - メーカー・企業と製品の一覧

AZ - ８ゾーンコントロール・チューブ炉

AZ は、温度プロファイルの制御に優れた 8 ゾーンチューブ炉です。

8 ゾーン、分厚い断熱材、炉全体に内蔵された高対称性の発熱体によ り、± 5°C以内という温度均一性を実現しています。8 ゾーンを個別に 制御する利点としては、炉内の均熱長を伸ばせることが重要です。また、 温度プロファイルは直線的に上昇させたり突出させたりと、ユーザで精 密かつ自由に制御できます。AZ が最適な用途は、例えば化学蒸着で す。高温のエンドゾーンで前駆体物質を蒸発させ、低温のエンドゾーンで 蒸気を基質上に凝華させるような温度勾配を作れます。すべてのゾーン は個別の熱電対で制御およびモニターされます。